◎ 減薄單元采用軸向進(jìn)給(ln-Feed)磨削原理，兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。

◎ 設(shè)備配有MARPOSS在線測(cè)量?jī)x單元，加工時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量產(chǎn)品厚度，精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測(cè)量NCG單元。

◎ 設(shè)備核心是具有自主產(chǎn)權(quán)的2個(gè)靜壓氣浮磨削主軸、3個(gè)高精度晶圓主軸及1個(gè)高剛度大直徑氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)構(gòu)造的全自動(dòng)磨削減薄機(jī)。

◎ 全自動(dòng)上下料?？蛇M(jìn)行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。

◎ 分別在前面、左面、右面各配置了1臺(tái)觸摸式液晶顯示器，方便在不同區(qū)域作業(yè)需求，提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡(jiǎn)單地完成操作。

減薄機(jī)根據(jù)客戶不同的需求進(jìn)行定制，滿足不同客戶的需求，擁有專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，設(shè)備精度高，使用壽命高，負(fù)責(zé)上門安裝調(diào)試及培訓(xùn)