第十一屆中國(guó)(西部)電子信息博覽會(huì)(以下簡(jiǎn)稱西部電博會(huì))以“十年再啟航 智鏈匯集群”為主題,于7月13-15日在成都世紀(jì)城新國(guó)際會(huì)展中心8、9號(hào)館舉辦,并設(shè)置數(shù)字產(chǎn)業(yè)館、基礎(chǔ)電子館兩大展館,展示面積超3萬(wàn)㎡,匯集500余家參展企業(yè)。
夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備與眾多產(chǎn)業(yè)鏈品牌企業(yè)齊聚成都,攜系統(tǒng)解決方案和工藝設(shè)備亮相。
高科技產(chǎn)品全方位覆蓋產(chǎn)業(yè)鏈
西部電博會(huì)是西部地區(qū)最大的電子信息行業(yè)盛會(huì),本屆博覽會(huì)將通過(guò)智能終端、網(wǎng)絡(luò)安全、西部電子信息成果、電子元器件與集成電路、智能制造、特種電子6大專業(yè)展區(qū),打造一場(chǎng)西部電子信息行業(yè)巔峰盛會(huì),為業(yè)界充分展示了智能時(shí)代電子信息產(chǎn)業(yè)最新發(fā)展成果與趨勢(shì)。
夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備這次展示了公司自主研發(fā)的三臺(tái)設(shè)備——全自動(dòng)超精密晶圓減薄機(jī)、單工位減薄機(jī)、全自動(dòng)高精密倒角機(jī)。
火熱咨詢現(xiàn)場(chǎng)
夢(mèng)啟-全自動(dòng)超精密晶圓減薄機(jī)
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減薄單元采用軸向進(jìn)給(ln-Feed)磨削原理,兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。
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設(shè)備配有MARPOSS在線測(cè)量?jī)x單元,加工時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量產(chǎn)品厚度,精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測(cè)量NCG單元。
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設(shè)備核心是具有自主產(chǎn)權(quán)的2個(gè)靜壓氣浮磨削主軸、3個(gè)高精度晶圓主軸及1個(gè)高剛度大直徑氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)構(gòu)造的全自動(dòng)磨削減薄機(jī)。
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全自動(dòng)上下料??蛇M(jìn)行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。
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分別在前面、左面、右面各配置了1臺(tái)觸摸式液晶顯示器,方便在不同區(qū)域作業(yè)需求,提高了操作便利性。控制畫(huà)面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài),操作人員只要觸摸控制畫(huà)面上的按鈕,就可以簡(jiǎn)單地完成操作。
夢(mèng)啟-單工位減薄機(jī)
本機(jī)器采用晶圓自旋轉(zhuǎn)研磨法的原理為:采用略大于晶圓的工件轉(zhuǎn)臺(tái),工件通過(guò)真空吸盤(pán)夾持在工件轉(zhuǎn)臺(tái)的中心,磨輪邊緣調(diào)整到工件的中心位置,工件和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn),進(jìn)行切入減薄。砂輪與工件的接觸長(zhǎng)度、接觸面積、切入角不變,研磨力恒定,加工狀態(tài)穩(wěn)定,可以避免工件出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象。尤其對(duì)較薄的工件表現(xiàn)較為明顯。
研磨主軸均采用氣浮軸承結(jié)構(gòu),定子、轉(zhuǎn)子之間由于沒(méi)有機(jī)械軸承的摩擦力,磨損程度降到了最低,從而確保精度始終保持穩(wěn)定。
氣浮軸承阻力較低,允許較高的速度,并能同時(shí)保持較低的振動(dòng)水平。
氣浮主軸精確的、可重復(fù)的運(yùn)動(dòng),使得表面光度達(dá)到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的,轉(zhuǎn)子所經(jīng)受的、來(lái)自外負(fù)載的作用力,在其旋轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定的分布在所有點(diǎn)上。這一特性與磨削時(shí)產(chǎn)生良好的表面光度息息相關(guān)。
夢(mèng)啟-全自動(dòng)高精密倒角機(jī)
晶圓倒角單元采用側(cè)向進(jìn)給磨削原理,兼容中?4''/?6''/?8'',晶圓倒角加工。
設(shè)備配有精密在線測(cè)量厚度儀單元和CCD視覺(jué)模組,加工時(shí)先測(cè)量產(chǎn)品厚度和精確定位圓心控制倒角角度。加工完后可測(cè)量直徑,真圓度,直線邊到圓心尺寸,倒角邊尺寸。
設(shè)備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能,滿足各類工藝需求。
設(shè)備核心磨削主軸、承片主軸及視覺(jué)定位和測(cè)厚系統(tǒng)都是自主研發(fā)生產(chǎn)。
全自動(dòng)上下料和不良品下料工位??蛇M(jìn)行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工。
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配置了觸摸式液晶顯示器,提高了操作便利性??刂飘?huà)面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài),操作人員只要觸摸控制畫(huà)面上的按鈕,就可以簡(jiǎn)單地完成操作。
深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司
專注于晶圓減薄機(jī)、高精密拋光機(jī)、高精密倒角機(jī)等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)智能裝備的制造商