半導(dǎo)體研磨機(jī)市場(chǎng)主要分為機(jī)械研磨設(shè)備、化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備和CMP設(shè)備等細(xì)分類型。

機(jī)械研磨設(shè)備是半導(dǎo)體制造中最早應(yīng)用的一種研磨設(shè)備，它主要用于對(duì)硅片進(jìn)行研磨，是制作芯片的重要工藝之一。其原理是利用研磨頭與硅片接觸，通過(guò)機(jī)械切削和磨削的方式來(lái)去除硅片表面的殘留雜質(zhì)、瑕疵和厚度不均等問(wèn)題，從而使硅片表面平整光滑，具有一定的精度和光潔度。

化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備是一種在機(jī)械研磨設(shè)備基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的新型研磨技術(shù)，它采用機(jī)械研磨和化學(xué)腐蝕相結(jié)合的方式來(lái)對(duì)硅片進(jìn)行處理。其原理是在一定壓力下，輔以化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行軟化，使得硅片表面的顆粒被浸泡在化學(xué)溶液中，實(shí)現(xiàn)更加精細(xì)和平滑的研磨過(guò)程。

CMP設(shè)備即化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，它可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)機(jī)械研磨和化學(xué)腐蝕的雙重作用，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片的高效拋光。CMP設(shè)備在半導(dǎo)體制造中具有廣泛的應(yīng)用，可以用于對(duì)硅片進(jìn)行全局平坦化處理，從而避免了因表面粗糙度引起的半導(dǎo)體器件性能的不穩(wěn)定。

此外，高剛性晶圓研磨機(jī)市場(chǎng)也進(jìn)一步細(xì)分出晶圓邊緣研磨機(jī)和晶圓平面研磨機(jī)等不同類型。其中，晶圓平面研磨機(jī)在2022年占據(jù)了最大的市場(chǎng)份額，預(yù)計(jì)到2028年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到一定數(shù)值。高剛性晶圓研磨機(jī)主要應(yīng)用于硅片、復(fù)合半導(dǎo)體等領(lǐng)域，其中硅片領(lǐng)域占比最多，預(yù)計(jì)未來(lái)市場(chǎng)將持續(xù)保持領(lǐng)先地位。