◎ 本機器采用晶圓自旋轉(zhuǎn)研磨法的原理為:如圖a 采用略大于晶圓的工件轉(zhuǎn)臺，工件通過真空吸盤夾持在工件轉(zhuǎn)臺的中心，磨輪邊緣調(diào)整到工件的中心位置，工件和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn)，進行切入減薄。砂輪與工件的接觸長度、接觸面積、切入角不變，研磨力恒定，加工狀態(tài)穩(wěn)定，可以避免工件出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象。尤其對較薄的工件表現(xiàn)較為明顯。
◎ 研磨主軸均采用氣浮軸承結(jié)構(gòu)，定子、轉(zhuǎn)子之間由于沒有機械軸承的摩擦力，磨損程度降到了最低，從而確保精度始終保持穩(wěn)定。
◎ 氣浮軸承阻力較低，允許較高的速度，并能同時保持較低的振動水平。
◎ 氣浮主軸精確的、可重復的運動，使得表面光度達到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的，轉(zhuǎn)子所經(jīng)受的、來自外負載的作用力，在其旋轉(zhuǎn)時穩(wěn)定的分布在所有點上。這一特性與磨削時產(chǎn)生良好的表面光度息息相關。
